Herr Prof. Dr.-Ing.

Joachim N. Burghartz

Institut für Nano- und Mikroelektronische Systeme

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Joachim N. Burghartz wurde 1956 in Aachen geboren. Er studierte Elektrotechnik an der RWTH Aachen mit Abschluss (1982) Diplom-Ingenieur und promovierte (1987) an der Universität Stuttgart zum Dr.-Ing..

Von 1982 bis 1987 arbeitete er als wissenschaftlicher Mitarbeiter an der Universität Stuttgart an Sensoren mit integrierter Signalumwandlung mit Schwerpunkt Magnetfeldsensoren.

Von 1987 bis 1998 war er am IBM Thomas J, Watson Forschungslabor in Yorktown Heights, New York, wo er zunächst an selektiver Siliziumepitaxie, Si- und SiGe- Hochgeschwindigkeits-Transistordesign und -Integrationsprozessen sowie an CMOS-Technologie arbeitete. Später beschäftigte er sich mit der Entwicklung von passiven Bauelementen, insbesondere integrierter Spulen, hoher Güte auf Silizium.

Von 1998 bis 2005 war er ordentlicher Professor an der TU Delft mit Leitung der High-Frequency Technology and Components (HiTeC) - Forschungsgruppe. Der Schwerpunkt der Forschungsarbeiten lag auf Silizium-HF-Technologie und erstreckte sich von Arbeiten an Werkstoffen bis hin zum Entwurf von Schaltungsbausteinen.

Von März 2001 bis August 2005 war er außerdem wissenschaftlicher Direktor des Delft Institute of Microelectronics and Submicron Technology (DIMES) an der TU Delft.

Seit Oktober 2005 ist Prof. Dr. Burghartz Direktor und Vorsitzender des Vorstands des Instituts für Mikroelektronik Stuttgart (IMS CHIPS) und ordentlicher Professor an der Universität Stuttgart.

Ab dem 1. März 2006 leitet er zudem das Institut für Nano- und Mikroelektronische Systeme (INES) an der Universität Stuttgart.

Seit dem 18. August 2013 ist Prof. Dr. Burghartz Geschäftsführer der IMS Mikro-Nano Produkte GmbH.

Zu seinen beruflichen Auszeichnungen zählen der J.J. Ebers Award 2014 der IEEE Electron Devices Society, der Landesforschungspreis Baden-Württemberg 2009 und der ISSCC Jack Raper Award 2008. Er ist IEEE Fellow, war in den Jahren 2009 bis 2013 Vice President der IEEE Electron Devices Society und war in den Jahren 2001 bis 2006 Associate Editor der IEEE Transactions on Electron Devices. Er war Mitglied der Executive und Technischen Komitees der Fachkonferenzen BCTM (General Chairman 2000), IEDM, ESSDERC, ISICDG, VLSI-TSA, DCIS und SBMICRO. Seine Publikationsliste umfasst 91 Artikel (peer review) in Fachzeitschriften, 244 Veröffentlichungen auf Fachkonferenzen, 3 Bücher, 4 Buchkapitel und 16 Patente (Patentfamilien).
Besonders hervorzuheben ist das von ihm editierte Fachbuch zum 60/35-sten Jubiläum der IEEE Electron Devices Society „Guide to State-of-the-Art Electron Devices“ (Wiley&Sons Publishers), das den 2013 PROSE Award erhielt als bestes Fachbuch des Jahres im Bereich Engineering & Technology.

Dr. Golzar Alavi (U Stuttgart 2019)
Robert Bosch GmbH, Schwieberdingen, Germany


Dr. Yigit Mahsereci, (U Stuttgart 2018) 
IMS CHIPS, Stuttgart, Germany


Dr. Saleh Ferwana (U Stuttgart 2017)
IMS CHIPS, Stuttgart, Germany


Dr. Moustafa Nawito (U Stuttgart 2017)
PolyMath Analog, Stuttgart, Germany


Dr. Michael Jurisch (U Stuttgart 2017)
IMS CHIPS, Stuttgart, Germany


Dr. Mahadi-Ul Hassan (U Stuttgart 2017)
TDK Seicos, München, Germany


Dr. Shen-Huei Sun (U Stuttgart 2015)
IMS CHIPS, Stuttgart, Germany


Dr. Fabian Utermöhlen (U Stuttgart 2015)
Robert Bosch GmbH, Stuttgart, Germany


Dr. Tarek Hussein (U Stuttgart 2015)
Robert Bosch GmbH, Reutlingen, Germany


Dr. Tarek Zaki (U Stuttgart 2014)
Robert Bosch GmbH, Reutlingen, Germany


Dr. Daniel Etter (U Stuttgart 2014)
Infineon Technologies AG, München, Germany


Dr. Yipin Zhang (U Stuttgart 2013)
Intel, München, Germany


Dr. Nicoleta Wacker (U Stuttgart 2013)


Dr. Jun Tian (TU Delft 2013)
Mapper Lithography, Netherlands


Dr. Stefan Endler (U Stuttgart 2012)
Robert Bosch GmbH, Reutlingen, Germany


Dr. Evangelos Angelopoulos (U Stuttgart 2011)
Infineon Technologies AG, München, Germany


Dr. Ali Asif (U Stuttgart 2011)
GC University, Department of Physics, Lahore, Pakistan


Prof. Koen Buismann (TU Delft 2011)
Chalmers University, Sweden


Dr. Yue Ma (TU Delft 2011)
Mapper Lithography, Netherlands


Prof. Huseyin Sagkol (TU Delft 2011)
Fatih University, Turkey


Dr. Saoer Sinaga (TU Delft 2010)
Philips, Netherlands


Dr. Martin Zimmermann (U Stuttgart 2010)
IMS CHIPS, Stuttgart, Germany


Dr. Cong Huang (TU Delft 2010)
TU Delft, Netherlands


Dr. Edmund Neo (TU Delft 2010)
NXP, Netherlands


Dr. Theodoros Zoumpoulidis (TU Delft 2010)
TU Delft, Netherlands


Dr. Pedram Khalili Amiri (TU Delft 2008)
University of California at Los Angeles (UCLA), USA


Dr. Marina Vroubel
NXP, Netherlands


Prof. Yan Zhuang
Wright State University, Dayton, Ohio, USA


Dr. Hsien-Chen Wu (TU Delft 2007)
Texas-Instruments, Dallas, USA


Dr. Alexander Polyakov (TU Delft 2006)
Alpha Media Group


Dr. Vittorio Cuoco (TU Delft 2006)
NXP, Netherlands


Dr. Marco Spirito (TU Delft 2006)
TU Delft, Netherlands


Dr. Mark van der Heijden (TU Delft 2005)
NXP Research, Netherlands


Dr. Ronald Dekker (TU Delft 2004)
Philips Research, Netherlands


Dr. Pham Phuong Nga (TU Delft 2003)
Imec, Belgium

  • IEEE Electron Devices Society´s J. J. Ebers Award 2014

  • PROSE Award 2013 (informations about "Guide to State-of-the-Art Electron Devices")

  • Research Award of the State of Baden-Wuerttemberg, Germany (2009)
    (Landesforschungspreis für Angewandte Forschung)
  • IEEE ISSCC Jack Raper Award for Outstanding Technology Directions Paper (2009)

  • ESSDERC Best Paper Award (1992)

  • IBM Technical Achievement Awards (1990 and 1994)

  • IBM Technical Disclosure Achievement Awards (4 awards in total)
  • IEEE Cledo Brunetti Awards Committee (2005 - 2008)

  • IEEE Fellow (since 2001)

  • IEEE Electron Devices Society (EDS)

    • Executive Committee (since 2009)
    • Vice President Technical Activities (since 2009)
    • Distinguished Lecturer
    • Board of Governors (BoG; formerly AdCom; since 2005)
    • Associate Editor IEEE Transactions on Electron Devices (2001-2006)
    • Technical Activities Committee (2006-2009)
    • Region/Chapters Committee (since 2006)
    • Meetings Committee (since 2009)
    • Newsletter Committee (since 2013)
    • Publications Committee (since 2009)
    • EDS Germany Chapter Chair (ad interim; since 2009)
  • IEEE Technical conference committee member (list incomplete)

    • BCTM (1996-2001)
    • ESSDERC (since 1998)
    • IEDM (1993-95 and 1998-99)
    • ISCDG (since 2001)
    • SiRF (2003-2007)
    • TSA-VLSI (since 2011)
    • DCIS (2006, 2009)
    • MST Congress (since 2001)
    • SBMicro (2014)

  • microTEC Südwest (MST Excellence Cluster, Germany)

    • Member Cluster Board
    • Coordinator MST production platform PRONTO

  • SBMicro 2014
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